Відцентровий газовий повітряний компресор із подвійним середовищем, незалежно розроблений Шанхайським науково-дослідним інститутом загального машинобудування Kaishan, успішно налагоджено та введено в експлуатацію в провідній світовій компанії з виробництва інтегральних схем у Цзянсу. Усі параметри відповідають вимогам дизайну та завоювали схвалення користувачів.
Як ми всі знаємо, серед восьми основних матеріалів у напівпровідниковій промисловості електронний газ є основною сировиною після кремнію, на нього припадає 13,5% вартості матеріалів для виготовлення напівпровідникових пластин. Електронні гази широко використовуються для іонної імплантації, травлення, парової фази, осадження, легування та інших процесів у процесах виробництва електронних виробів. Їх називають «їжею» і «джерелом» інтегральних схем, РК-панелей, світлодіодів, фотоелектричних та інших матеріалів. Продуктивність електронних напівпровідникових пристроїв тісно пов’язана з якістю електронних газів, а азот високої/надвисокої чистоти є одним із найважливіших компонентів електронних газів. Він використовується в інертному захисті, газ-носій, спеціальні гази, вихлопні гази для продувки трубопроводів, вихідний газ і технологічний газ є незамінними в процесах виробництва напівпровідників, таких як розведення та плазмова імплантація. Комбінована відцентрова двосередня газова компресорна установка є основним обладнанням у процесі виробництва азоту високої чистоти. Такий ринок компресорів давно монополізований американськими компаніями.
Агрегат, успішно введений в експлуатацію цього разу, є першим вітчизняним компресором такого типу виробництва Kaishan і з повністю незалежними правами інтелектуальної власності. Він використовується в системі виробництва азоту всесвітньо відомої газової компанії зі списку Fortune 500. Це також перший раз, коли ця компанія співпрацює з китайськими виробниками компресорів. Успішна робота значно підвищила ринкову конкурентоспроможність системи підготовки високочистого азоту компанії. Це результат чотирьох років спільних зусиль обох сторін.
У той же час також була завершена робота з налагодження двох комплектів цього типу повітряного компресора, який використовується в вітчизняних системах підготовки високочистого азоту. Усі параметри відповідають проектним вимогам, а деякі параметри навіть перевищують проектні вимоги.
Протягом останніх двох десятиліть Kaishan продовжувала інвестувати значні кошти в основні технології та поступово створювала певні технологічні переваги в різних сферах, таких як гвинти, турбіни, поршневі компресори, детандери та вакуумні насоси. У контексті поточного зростаючого попиту на «локалізацію» ця технологічна перевага дозволяє нашим китайським користувачам не тільки не жертвувати якістю необхідного їм обладнання через «локалізацію», але й отримати більш надійне обладнання після «локалізації». Якість продукції та низьке енергоспоживання. Для наших міжнародних користувачів вони вважають, що китайське обладнання, представлене Kaishan, принесло їм більше переваг. Успішна робота цього відцентрового комбінованого повітряного компресора з подвійним середовищем є лише невеликим прикладом наведених вище слів.
Час публікації: 25 жовтня 2023 р
